NXI-3510 / NXI-3500IM

NXI-3510
NXI-3510IM

X-RAY INSPECTOR

NXI-3510 / NXI-3500IM

X線自動検査機の次世代モデル

高速・高画質の3次元CTに加え、直視・斜め撮影に対応したX線検査装置です。
高速検査と高画質化を同時に実現し、C4はんだバンプ自動検査やLTH内部メッキ充填状態の自動検査等、半導体製造ラインの高速化や検査スリム化に貢献します。また、CT撮影だけでなく直視・斜め撮影にも対応し、機能の多様化を可能にしました。


新開発 新機構技術で高速スループットを実現

  • 従来機NLX-5000と比べ、CT撮影時間が1/3以下に大幅短縮
  • 高速FPDと新機構技術(オプション)により、高速検査を実現
  • 16投影FOV8秒以下の撮影時間を実現

※投影数と分解能は、検査対象の状態等によって変わります


独自の技術+高性能ハードウェア=さらなる高画質化

  • フレームの高剛性化、リニアスケールの採用で機械精度を大幅向上
  • 独自の画像補正技術と高感度FPDでクリアな画像を提供
  • これらにより高品質なCT画像取得と自動検査の精度向上を実現

シンプルな構造で直視、斜め、CT撮影すべてをカバー

  • X線検出器が0~60度の任意角度で撮影可能、最適な撮影環境を提供
  • 1枚の検出器で直視からCTまでカバー
  • 高いコストパフォーマンスを実現
  • 最高0.33μm(インライン機は0.58μm)の高分解能撮影

※分解能は、斜め・CT撮影の場合は角度によって変わります


主な仕様

検査仕様

型式NXI-3510
対応ワークサイズ:最大W510 x L370mm ※カーボン吸着治具によりW515 x L610mmまで可能
厚さ:3mm以下 重量:2kg以下
上下クリアランス上面:50mm、下面:1.5mm
検査項目2D :透過画像による部品検査、バンプ検査
3D:CT画像によるバンプ検査(BGA、C4)、メッキ充填TH検査など

システム仕様

型式NXI-3510
X線発生管開放管マイクロフォーカス、管電圧:20~160kV、管電流:0~200µA、最大分析能力:1µm
X線検出器センサータイプ:3M pixels
傾斜撮影角度0~60°
幾何学倍率最大900倍
撮影倍率垂直撮影時:最大225倍、60°傾斜撮影時:最大112倍
撮影分解能垂直撮影時:最高0.33µm、60°傾斜撮影時:最高0.67µm
X線漏洩線量0.5μSV/h以下
外形寸法W1,680mm × D1,990mm × H1,940mm
重量3,700kg
電源電圧交流三相200-240V、 3kVA

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