NXI-3510


NXI-3510
NXI-3500IM

X-RAY INSPECTOR

NXI-3510 / NXI-3500IM

3D X線検査装置

高速・高画質の3次元CT

X線自動検査機の次世代モデル


主な仕様

型式NXI-3510NXI-3500IM
対応ワークサイズ:最大W510 x L370mm
※カーボン吸着治具によりW515 x L610mmまで可能
厚さ:3mm以下 重量:2kg以下
サイズ:最大W350 x L350mm
厚さ:3mm以下 重量:1.5kg以下
上下クリアランス上面:50mm、下面:1.5mm 上面:50mm、下面:2.5mm
検査項目2D :透過画像による部品検査、バンプ検査
3D:CT画像によるバンプ検査(BGA、C4)、
  メッキ充填TH検査など
← 同左
X線発生管開放管マイクロフォーカス
管電圧:20~160kV
管電流:0~200µA
最大分析能力:1µm
← 同左
X線検出器センサータイプ:3M pixels← 同左
傾斜撮影角度0~60°← 同左
幾何学倍率最大900倍← 同左
撮影倍率垂直撮影時:最大225倍
60°傾斜撮影時:最大112倍
垂直撮影時:最大150倍
60°傾斜撮影時:最大75倍
撮影分解能垂直撮影時:最高0.33µm
60°傾斜撮影時:最高0.67µm
垂直撮影時:最高0.5µm
60°傾斜撮影時:最高1.0µm
X線漏洩線量0.5μSV/h以下 ← 同左
外形寸法W1,680mm × D1,990mm × H1,940mm W1,760mm × D2,060mm × H2,000mm
重量3,700kg 4,300kg
電源電圧交流三相200-240V、 3kVA← 同左

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