NXI-3510 / NXI-3500IM

NXI-3510
NXI-3510IM

X-RAY INSPECTOR

NXI-3510 / NXI-3500IM

X線自動検査機の次世代モデル

高速・高画質の3次元CTに加え、直視・斜め撮影に対応したX線検査装置です。
高速検査と高画質化を同時に実現し、C4はんだバンプ自動検査やLTH内部メッキ充填状態の自動検査等、半導体製造ラインの高速化や検査スリム化に貢献します。また、CT撮影だけでなく直視・斜め撮影にも対応し、機能の多様化を可能にしました。


新開発 新機構技術で高速スループットを実現

  • 従来機NLX-5000と比べ、CT撮影時間が1/3以下に大幅短縮
  • 高速FPDと新機構技術(オプション)により、高速検査を実現
  • 16投影FOV8秒以下の撮影時間を実現

※投影数と分解能は、検査対象の状態等によって変わります


独自の技術+高性能ハードウェア=さらなる高画質化

  • フレームの高剛性化、リニアスケールの採用で機械精度を大幅向上
  • 独自の画像補正技術と好感度FPDでクリアな画像を提供
  • これらにより高品質なCT画像取得と自動検査の精度向上を実現

シンプルな構造で直視、斜め、CT撮影すべてをカバー

  • X線検出器が0~60度の任意角度で撮影可能、最適な撮影環境を提供
  • 1枚の検出器で直視からCTまでカバー、
  •  高いコストパフォーマンスを実現
  • 最高0.33μm(インライン機は0.58μm)の高分解能撮影

※分解能は、斜め・CT撮影の場合は角度によって変わります


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